KU SG 1000-50 W, Mikrowellengenerator

10000 MHz ∙ 50 W
 

Ionenimplantation   Plasmaerzeugung   Mikrowellenerwärmung

- Fernsteuerung über LAN
- Hohe Betriebssicherheit durch integrierten Hohlleiterisolator
- Einfache Bedienung


KU SG 1000-50 W ist ein Leistungsmikrowellengenerator für den Einsatz zur Plasmaerzeugung oder Ionenimplantation. Leistung und Frequenz sind fest konfiguriert auf 50 W bei 10 GHz. Im 19“-Rack sind bereits alle Peripheriekomponenten, wie Schaltnetzteile, Kühlung, Abschaltmechanismen zur Betriebssicherheit und ein Isolator implementiert. Der Generator verfügt über einen Hohlleiterausgang des Standards WR-90 und wird am 230 V Wechselstromnetz betrieben. Die Ansteuerung kann sowohl manuell über die Frontplatte, als auch über die Ethernet-Schnittstelle erfolgen. Hierbei wird eine virtueller COM-Port für die Kommunikation zur Verfügung gestellt, über den Betriebsparameter ausgelesen und der Generator ein- und ausgeschaltet werden.